リッド自動搭載シーム溶接機
NAW-6000

特長

水晶&SAWデバイス、光デバイス、センサー、MEMS等のパッケージをシーム溶接により気密封止する装置です。

  • PKGサイズ: 2~150mm
  • PKG形状: 丸型、角型、多角型
  • LID形状: フラットLID、キャップLID、窓付きLID

タクト(生産効率)アップ

  • LID自動搭載
  • 仮付けから封止まで自動運転
  • 高速シーム溶接(10mm/sec)

歩留り向上

  • 業界最高水準のLID搭載精度で位置ズレを抑制
    搭載精度 ±0.035mm(25×25mmPKG)
  • 蓄熱を軽減してクラックを抑制
    分割封止など応力を最小限に抑える最適制御
写真:NAW-6000
NAW-6000

溶接開始位置、終了位置、電極幅をユーザで任意に座標指定可能

写真:分割封止
分割封止
写真:任意の幅に設定
任意の幅に設定

生産方式により選べる機能

  • LID供給形態
    トレイ(標準)、カセット、パーツフィーダ、手置き
  • アニールオーブン
    取付位置(左右)、段数・列数・個数
  • HEPAフィルタの追加(パーティクルの影響を抑制)
アニールオーブン
写真:アニールオーブン
1列3段
写真:アニールオーブン 1列3段
2列14段
写真:アニールオーブン 2列14段

溶接手順

トレイ→オーブン→LID自動搭載仮付け封止→パスBOX→完了

製品仕様

項目 仕様
対応サイズ ワーク 2mm~150mm
トレイ 最大160×160mm
溶接電源 制御方式 電力制御
モニタ I, V, W, R
溶接ヘッド 加圧力 2~20N
上下ストローク 15mm
電極間隔 2~150mm
ブース 雰囲気管理 露点計による
到達露点 マイナス45℃以下
構造 パスBOX、各種オーブンチャンバ取付可能
安全仕様 エリアセンサ
Lid供給 トレイ(標準)、カセット、パーツフィーダから選択
画像認識 独自アルゴリズム
操作 タッチパネルおよびハードスイッチ
外形寸法(参考値) W2100mm×D960mm×H2000mm
  • 外形寸法はアニールオーブンの有無などで変わります。

最適接合ソリューションをご提案します。

お気軽にお問い合わせください。

045-930-3595

接合機器営業部

8:30〜17:00(土日・祝日・弊社休業日を除く)

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