真空封止/全自動シーム溶接機

特長

水晶&SAWデバイス、光デバイス、センサー、MEMS等のパッケージをシーム溶接により気密封止する装置です。

図:真空封止/全自動シーム溶接機

真空封止 全自動シーム溶接機
本体電源 AC200V 3Φ 40A
チャンバ電源 AC200V 3Φ 30A
エアー 0.5MPa
窒素 0.2MPa
水 0.5MPa 10リットル/分
外形寸法 / 質量 3950W×1320D×1870H mm≒2045kg

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