日本アビオニクス

２０１８年８月２１日
日本アビオニクス株式会社

業界最高水準の Lid 搭載精度で歩留り向上
高性能汎用型
「自動シーム封止装置 NAW-6000」を発売！

　小型金属PKG向け全自動シーム溶接機で世界トップシェア^※の日本アビオニクス株式会社 （本社：東京都品川区、社長：秋津　勝彦）は、この度その技術を応用し、水晶デバイスに代表される超小型金属PKGからミラーデバイスやイメージングデバイスなどの大型金属PKGまで多品種に対応した高精度なLid搭載機能付きシーム封止装置NAW-6000を発売いたしました。

　近年、情報機器の急速発展やIoT化の促進により多種多様なデバイスが増加し、またその製造過程においては高精度で均質な品質が求められております。本製品は従来のシーム封止汎用機に自動Lid搭載機能を付加した当社初のモデルで、小型PKGから大型PKGまで高精度で封止することが可能です。また、従来の水晶デバイスのフラット型Lidだけでなくキャップ型Lidやミラーデバイス、イメージングデバイスなどの窓付きLidにも対応いたします。さらに高速封止を実現したことで、品質の向上だけでなく生産性も向上し、作業工数削減といったコストダウンに寄与します。

1. 不良率を大幅に低減する業界最高水準のLid搭載精度
   Lid、PKGのそれぞれに専用認識カメラを配置し、業界最高水準のLid搭載精度を実現したことによりLidズレ不良を削減いたします。
   例）ワークサイズ□25mm未満搭載精度±0.035mm
2. 高速封止による生産性向上を実現
   10mm/sec.で両辺を接合し、生産性の向上が図れます。
   例）□5mmPKG封止　約5.5sec
3. 様々な大きさのPKG、およびLid形状に対応可能
   1台で□2mmから□150mmまでのPKG封止に対応いたします。
   また、フラットLid、キャップLid、窓付きLidに対応致します。
4. 自在なプログラム設定によりワークダメージを軽減し接合品質を向上
   シーム封止で一般的な周波数固定の概念を超えた当社独自のシーム封止専用電源で、波高値、時間を任意で設定できます。これにより、PKGの応力を最小限に抑え、クラックや たわみの発生を削減します。また、必要最小限の熱で封止可能なため、アウトガスの発生を抑制し、内部デバイスへの影響を減らします。
   　さらに溶接開始位置、終了位置を任意に座標指定可能で、蓄熱の大きい大型PKGは分割封止することで応力を最小限に留めクラックを抑制します。

   

5. 充実したカスタム対応
   
   1. 生産量に応じてアニール^*チャンバの処理能力、配置を選択でき、シーム溶接の待ち時間を減らし生産の効率化が図れます。
      
      • アニール効果
        PKGあるいはLidを真空中で加熱することにより吸着水分や接着剤中のガス、その他有機物を除去し、封止後のデバイス特性を維持します。
   2. パーティクル抑制
      HEPAフィルタを追加することでダストの影響を最小限に抑制。加速度センサ、ミラーデバイス、イメージングデバイスに有効です。
   3. Lid供給形態
      トレイ供給（標準）のほかリッドカセット、パーツフィーダを選択できます。

※ 2018年8月当社調べ

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