リッド自動搭載シーム溶接機
NAW-6100（大容量電源搭載）、NAW-6000
参考情報
特長
水晶&SAWデバイス、光デバイス、センサー、MEMS等のパッケージを気密封止するシーム溶接装置です。
- ワークサイズ： 2～150mm
- ワーク形状： 丸型、角型、多角型
- リッド形状： フラットリッド、キャップリッド、窓付きリッド
- ～0.3mmのリッドの厚みに対応（NAW-6100）
タクト（生産効率）アップ
- リッド自動搭載
- リッド搭載から封止まで自動運転
- 高速シーム溶接（10mm/sec）
歩留り向上
- 高精度なリッド搭載精度で位置ズレを抑制
搭載精度 ±0.035mm（25×25mmパッケージ） - 十分なシール幅を確保してリーク不良を低減（NAW-6100）
- 蓄熱を軽減してクラックを抑制
分割封止など応力を最小限に抑える最適制御
溶接開始位置、終了位置、電極幅をユーザで任意に座標指定可能
生産方式により選べる機能
- リッド供給形態
トレイ（標準）、カセット、パーツフィーダ、手置き - アニールオーブン
取付位置（左右）、段数・列数・個数 - HEPAフィルタの追加（パーティクルの影響を抑制）
シーム溶接手順
仕様
| リッド自動搭載シーム溶接機 | NAW-6000シリーズ | NAW-6100シリーズ |
|---|---|---|
| 溶接電源定格容量 | 2kVA | 4kVA |
| 加圧力 | 3～22N | |
| 対応リッド厚み | MAX 0.12mm | MAX 0.3mm |
| 窒素 | 0.2～0.8MPa | |
| 水 | 0.2～0.5MPa 1～5L/min | |
| 本体電源 | AC200V 3Φ 20A | AC200V 3Φ 30A |
| 外形寸法 | 2100W × 960D × 2000H mm | |
| 質量 | 約650kg | 約650kg |
- 外形寸法はアニールオーブンの有無などでかわります
シーム溶接機（シーム封止装置）の製品一覧
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